Abstract
By means of the Charged Particle Activation Analysis it is possible to detect the light elements Boron, Carbon, Oxigen and Nitrogen in the GaAs matrix and in pure Ga in an absolute manner. Detection limits: B = 1.0x10{sup 15} cm{sup -3}, C = 8x10{sup 14} cm{sup -3}, O = 4x10{sup 14} cm{sup -3}, N = 5.0x10{sup 16} cm{sup -3}. As an absolute measuring method the CPAA is implanted for the calibration of relative measuring methods, like FTIR etc. By CPAA the bulk concentration of impurities is detected and not the electrical activated part of the elements only. The advantages of the CPAA are: Simultaneous analysis of light elements, destruction free, repeated measurements on the same sample. (orig.) With 11 refs. [Deutsch] Mit Hilfe der Aktivierungsanalyse mit geladenen Teilchen ist es moeglich, die leichten Elemente Bor, Kohlenstoff, Sauerstoff und Stickstoff in der Matrix GaAs und dem Rohstoff Ga absolut zu bestimmen. Nachweisgrenzen: B = 1.0x10{sup 15} cm{sup -3}, C = 8x10{sup 14} cm{sup -3}, O = 4x10{sup 14} cm{sup -3}, N = 5.0x10{sup 16} cm{sup -3}. Die CPAA wird als Absolutmethode zur Kalibration relativ messender Verfahren, wie FTIR usw. eingesetzt. Die CPAA detektiert die gesamte Volumenkonzentration der Verunreinigungen, nicht nur elektrisch
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Bethge, K, Krauskopf, J, Liebler, V, Meyer, J D, Michelmann, R, Wolf, G, and Misaelides, P.
Application of charged particle activation analysis (CPAA) to the detection of light impurities in GaAs and in raw materials. Final report; Einsatz der Aktivierungsanalyse mit geladenen Teilchen (CPAA) zum Nachweis leichter Verunreinigungen in GaAs, sowie in Roh- und Hilfstoffen. Abschlussbericht.
Germany: N. p.,
1991.
Web.
Bethge, K, Krauskopf, J, Liebler, V, Meyer, J D, Michelmann, R, Wolf, G, & Misaelides, P.
Application of charged particle activation analysis (CPAA) to the detection of light impurities in GaAs and in raw materials. Final report; Einsatz der Aktivierungsanalyse mit geladenen Teilchen (CPAA) zum Nachweis leichter Verunreinigungen in GaAs, sowie in Roh- und Hilfstoffen. Abschlussbericht.
Germany.
Bethge, K, Krauskopf, J, Liebler, V, Meyer, J D, Michelmann, R, Wolf, G, and Misaelides, P.
1991.
"Application of charged particle activation analysis (CPAA) to the detection of light impurities in GaAs and in raw materials. Final report; Einsatz der Aktivierungsanalyse mit geladenen Teilchen (CPAA) zum Nachweis leichter Verunreinigungen in GaAs, sowie in Roh- und Hilfstoffen. Abschlussbericht."
Germany.
@misc{etde_10145780,
title = {Application of charged particle activation analysis (CPAA) to the detection of light impurities in GaAs and in raw materials. Final report; Einsatz der Aktivierungsanalyse mit geladenen Teilchen (CPAA) zum Nachweis leichter Verunreinigungen in GaAs, sowie in Roh- und Hilfstoffen. Abschlussbericht}
author = {Bethge, K, Krauskopf, J, Liebler, V, Meyer, J D, Michelmann, R, Wolf, G, and Misaelides, P}
abstractNote = {By means of the Charged Particle Activation Analysis it is possible to detect the light elements Boron, Carbon, Oxigen and Nitrogen in the GaAs matrix and in pure Ga in an absolute manner. Detection limits: B = 1.0x10{sup 15} cm{sup -3}, C = 8x10{sup 14} cm{sup -3}, O = 4x10{sup 14} cm{sup -3}, N = 5.0x10{sup 16} cm{sup -3}. As an absolute measuring method the CPAA is implanted for the calibration of relative measuring methods, like FTIR etc. By CPAA the bulk concentration of impurities is detected and not the electrical activated part of the elements only. The advantages of the CPAA are: Simultaneous analysis of light elements, destruction free, repeated measurements on the same sample. (orig.) With 11 refs. [Deutsch] Mit Hilfe der Aktivierungsanalyse mit geladenen Teilchen ist es moeglich, die leichten Elemente Bor, Kohlenstoff, Sauerstoff und Stickstoff in der Matrix GaAs und dem Rohstoff Ga absolut zu bestimmen. Nachweisgrenzen: B = 1.0x10{sup 15} cm{sup -3}, C = 8x10{sup 14} cm{sup -3}, O = 4x10{sup 14} cm{sup -3}, N = 5.0x10{sup 16} cm{sup -3}. Die CPAA wird als Absolutmethode zur Kalibration relativ messender Verfahren, wie FTIR usw. eingesetzt. Die CPAA detektiert die gesamte Volumenkonzentration der Verunreinigungen, nicht nur elektrisch aktive Anteile. Sie kann unterschiedliche leichte Elemente simultan nachweisen. Die CPAA ist im wesentlichen zerstoerungsfrei, erlaubt Wiederholungsmessungen. (orig.) With 11 refs.}
place = {Germany}
year = {1991}
month = {Dec}
}
title = {Application of charged particle activation analysis (CPAA) to the detection of light impurities in GaAs and in raw materials. Final report; Einsatz der Aktivierungsanalyse mit geladenen Teilchen (CPAA) zum Nachweis leichter Verunreinigungen in GaAs, sowie in Roh- und Hilfstoffen. Abschlussbericht}
author = {Bethge, K, Krauskopf, J, Liebler, V, Meyer, J D, Michelmann, R, Wolf, G, and Misaelides, P}
abstractNote = {By means of the Charged Particle Activation Analysis it is possible to detect the light elements Boron, Carbon, Oxigen and Nitrogen in the GaAs matrix and in pure Ga in an absolute manner. Detection limits: B = 1.0x10{sup 15} cm{sup -3}, C = 8x10{sup 14} cm{sup -3}, O = 4x10{sup 14} cm{sup -3}, N = 5.0x10{sup 16} cm{sup -3}. As an absolute measuring method the CPAA is implanted for the calibration of relative measuring methods, like FTIR etc. By CPAA the bulk concentration of impurities is detected and not the electrical activated part of the elements only. The advantages of the CPAA are: Simultaneous analysis of light elements, destruction free, repeated measurements on the same sample. (orig.) With 11 refs. [Deutsch] Mit Hilfe der Aktivierungsanalyse mit geladenen Teilchen ist es moeglich, die leichten Elemente Bor, Kohlenstoff, Sauerstoff und Stickstoff in der Matrix GaAs und dem Rohstoff Ga absolut zu bestimmen. Nachweisgrenzen: B = 1.0x10{sup 15} cm{sup -3}, C = 8x10{sup 14} cm{sup -3}, O = 4x10{sup 14} cm{sup -3}, N = 5.0x10{sup 16} cm{sup -3}. Die CPAA wird als Absolutmethode zur Kalibration relativ messender Verfahren, wie FTIR usw. eingesetzt. Die CPAA detektiert die gesamte Volumenkonzentration der Verunreinigungen, nicht nur elektrisch aktive Anteile. Sie kann unterschiedliche leichte Elemente simultan nachweisen. Die CPAA ist im wesentlichen zerstoerungsfrei, erlaubt Wiederholungsmessungen. (orig.) With 11 refs.}
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