Abstract
In the system TiC-TiB{sub 2}-B{sub 4}C-SiC coatings with different amounts of phase boundaries were prepared by magnetron sputtering: multilayer coatings with 10, 100 and 1000 individual layers and a total thickness of 5 {mu}m as well as single layer multiphase coatings deposited from multiphase targets on heated and unheated substrates. To know the influence of internal interfaces in those coatings, structure and properties of the corresponding single phase coatings were studied also. TEM examinations of cross-section samples showed that B{sub 4}C and SiC coatings are amorphous whereas TiC and TiB{sub 2} coatings are crystalline with a texture which depends on deposition parameters and is developed with growing thickness of the coating. Therefore the texture of TiC and TiB{sub 2} layers in multilayer coatings depends on the thickness of the individual layer. While the texture of single layers in multilayer SiC-TiC, SiC-TiB{sub 2}, B{sub 4}C-TiB{sub 2}, and B{sub 4}C-SiC coatings corresponds to the structure of single phase coatings of the same thickness, in TiC-TiB{sub 2} coatings the texture of the individual layers is also influenced by the texture of the previous layer. The occurence of mixing zones between the layers depends on the materials, but also on the crystallinity of the
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Hilz, G.
On the influence of internal interfaces and properties of multiphase hard material coatings; Zum Einfluss innerer Grenzflaechen auf Aufbau und Eigenschaften mehrphasiger Hartstoffschichten.
Germany: N. p.,
1992.
Web.
Hilz, G.
On the influence of internal interfaces and properties of multiphase hard material coatings; Zum Einfluss innerer Grenzflaechen auf Aufbau und Eigenschaften mehrphasiger Hartstoffschichten.
Germany.
Hilz, G.
1992.
"On the influence of internal interfaces and properties of multiphase hard material coatings; Zum Einfluss innerer Grenzflaechen auf Aufbau und Eigenschaften mehrphasiger Hartstoffschichten."
Germany.
@misc{etde_10103513,
title = {On the influence of internal interfaces and properties of multiphase hard material coatings; Zum Einfluss innerer Grenzflaechen auf Aufbau und Eigenschaften mehrphasiger Hartstoffschichten}
author = {Hilz, G}
abstractNote = {In the system TiC-TiB{sub 2}-B{sub 4}C-SiC coatings with different amounts of phase boundaries were prepared by magnetron sputtering: multilayer coatings with 10, 100 and 1000 individual layers and a total thickness of 5 {mu}m as well as single layer multiphase coatings deposited from multiphase targets on heated and unheated substrates. To know the influence of internal interfaces in those coatings, structure and properties of the corresponding single phase coatings were studied also. TEM examinations of cross-section samples showed that B{sub 4}C and SiC coatings are amorphous whereas TiC and TiB{sub 2} coatings are crystalline with a texture which depends on deposition parameters and is developed with growing thickness of the coating. Therefore the texture of TiC and TiB{sub 2} layers in multilayer coatings depends on the thickness of the individual layer. While the texture of single layers in multilayer SiC-TiC, SiC-TiB{sub 2}, B{sub 4}C-TiB{sub 2}, and B{sub 4}C-SiC coatings corresponds to the structure of single phase coatings of the same thickness, in TiC-TiB{sub 2} coatings the texture of the individual layers is also influenced by the texture of the previous layer. The occurence of mixing zones between the layers depends on the materials, but also on the crystallinity of the previous layer. (orig.(MM)). [Deutsch] Im System TiC-TiB{sub 2}-B{sub 4}C-SiC wurden durch Magnetronsputtern Schichten mit einer unterschiedlichen Zahl von Phasengrenzen hergestellt: mehrlagige Schichten mit 10, 100 und 1000 Einzellagen bei einer konstanten Gesamtschichtdicke von 5 {mu}m sowie einlagig mehrphasige Schichten, die von gemischten Targets auf beheizte und unbeheizte Substrate abgeschieden wurden. Um den Einfluss der inneren Grenzflaechen in diesen Schichten ermitteln zu koennen, wurden jedoch zunaechst Aufbau und Eigenschaften der entsprechenden einlagigen Schichten untersucht. TEM-Untersuchungen an Querschnitten beschichteter Proben zeigten, dass B{sub 4}C- und SiC-Schichten amorph sind, waehrend sich in den kristallinen TiC- und TiB{sub 2}-Schichten mit zunehmender Schichtdicke eine je nach Abscheidebedingungen unterschiedlich stark ausgepraegte Textur ausbildet. Aus diesem Grund haengt auch die Textur der TiC- und TiB{sub 2}-Lagen in mehrlagigen Schichten von der Dicke der Einzellagen ab. Waehrend der Aufbau der Einzellagen in mehrlagigen SiC-TiC-, SiC-TiB{sub 2}-, B{sub 4}C-TiB{sub 2}- und B{sub 4}C-SiC-Schichten dem einlagiger Schichten mit gleicher Dicke entspricht, wird in TiC-TiB{sub 2}-Schichten das Aufwachsen der einzelnen Lagen zusaetzlich durch die Textur der jeweils vorhergehenden Lage beeinflusst. Die Beschaffenheit der Phasengrenzen zwischen den einzelnen Lagen haengt einerseits von der Materialpaarung ab, andererseits davon, ob die jeweils untere Lage amorph oder kristallin ist. (orig./MM).}
place = {Germany}
year = {1992}
month = {Apr}
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title = {On the influence of internal interfaces and properties of multiphase hard material coatings; Zum Einfluss innerer Grenzflaechen auf Aufbau und Eigenschaften mehrphasiger Hartstoffschichten}
author = {Hilz, G}
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