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apl.Prof. Dr. D.J. As
1Typische UHV-Anlage
· Zur Erzeugung von UHV benötigt man die entsprechenden Pumpen
· Zur Messung des Drucks benötigt man Meßsonden
Und eine Vakuumkammer:
· besteht aus VA-Stahlkörper (ausheizbar)
· hat verschiedene Öffnungen
· Fenster
· Messgeräte
· Herstellungsgeräte (z.B. Knudsenzellen)
· An den Wänden adsorbiert Restgas
Ausheizen z.B. 10 h bei 150-180°C
· Flansche werden mit Cu-Ringen gedichtet
Bem.: für HV (< 10-7mbar) reichen nicht
ausheizbare Gummi oder Viton Dichtungen
apl.Prof. Dr. D.J. As
2Pumpen und Druckmesssysteme
Otto von Guericke
(20. Nov. 1602 ­ 11. Mai 1686)

Source: As, Donat Josef - Department Physik, Universität Paderborn

Collections: Materials Science; Physics