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apl.Prof. Dr. D.J. As 1Auger Elektronenspektroskopie (AES) Photoemissionspektroskopie (XPS, UPS)
 

Summary: 1
apl.Prof. Dr. D.J. As
1Auger Elektronenspektroskopie (AES) ­ Photoemissionspektroskopie (XPS, UPS)
Auger-Elektronen-Spektroskopie ist eine Standardanalysetechnik der Oberflächen und
Interface-Physik zur Überprüfung
a) Reinheit
b) Oberflächenchemische Zusammensetzung
c) Tiefenprofile durch Abtragung (Sputtering)
Die austretenden Sekundärelektronen werden energetisch analysiert.
Photoelektronenspektroskopie ist ähnlich wie Augerspektroskopie nur werden statt
einem Primärelektronenstrahl Photonen zur Anregung verwendet, die genügend Energie
besitzen Elektronen aus dem Halbleiter aus den inneren Schalen der Atome zu
entfernen. Die austretenden Elektronen werden dann ähnlich wie bei AES energie-
abhängig gemessen.
Bei der Photoemissionspektroskopie unterscheidet man je nach Anregungslicht
a) UPS (Ultraviolet photo emission spectroskopy)
hier wird Strahlung einer He Entladungslampe, die entweder bei
21.2eV oder bei 40.8 eV emittiert verwendet
b) XPS (X-ray photo emission spectroscopy) = ESCA (electron spectroscopy
for chemical analysis)

  

Source: As, Donat Josef - Department Physik, Universität Paderborn

 

Collections: Materials Science; Physics