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apl.Prof. Dr. D.J. As 1Aufdampfen und Molekularstrahlepitaxie
 

Summary: 1
apl.Prof. Dr. D.J. As
1Aufdampfen und Molekularstrahlepitaxie
Eine der klassischen Methoden frische, saubere Oberflächen im UHV zu
präparieren ist das Aufdampfen und Kondensieren dünner Filme.
a) Polykristalline Filme
Polykristalline Metallfilme aus Pt, Pd, Ni, Au, Cu, Al, .. können leicht auf
diese Weise hergestellt werden. Auf Halbleitermaterialien dienen
diese als Ohm´sche Kontakte bzw. als sperrende Schottky- oder
Gatekontakte ( FET, HEMT, ...)
Polykristalline dielektrische Schichten oder Spiegel dienen z.B. zur
Vergütung von Gläseren,...
a) Thermisches Verdampfen aus Schmelztiegel
b) Elektronenstrahlverdampfen
c) Sputtern (Zerstäuben)
a) Einkristalline Schichten
Übertragen kristalline Struktur auf abgeschiedene Schichten (Epitaxie)
a) LPE (Flüssigphasenepitaxie)
b) MOCVD (= MOVPE) (Metallorganic chemical vapor deposition)
c) MBE (Molekularstrahlepitaxie)

  

Source: As, Donat Josef - Department Physik, Universität Paderborn

 

Collections: Materials Science; Physics